Verfahren zum Reinigen und Konditionieren einer Plasma-Reaktionskammer
EP1252361
Art B1
2. September 2009
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1252361
- Aktenzeichen
- EP00983789
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 2. September 2009
- Erteilung
- 2. September 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Barnard, Eric Edward
London, Großbritannien
24
Patente gesamt
11
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Brookes IP
Brookes IP · Tunbridge Wells
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Brookes Batchellor LLP
Brookes Batchellor LLP · London