Verfahren zur Erzeugung einer Oberflächenstruktur mit einem Fokussierten Laser

EP1252366 Art A2 30. Oktober 2002

Anmelder: YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO. LTD., YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT Co. LTD. 🇮🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1252366
Aktenzeichen: EP00977837
Anmeldetag: 20. November 2000
Veröffentlichung: 30. Oktober 2002
Rechtsraum: EP
IPC: C23C18/14H01L21/368G03F7/00H01L21/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT CO. LTD.
YEDA RESEARCH AND DEVELOPMENT Co. LTD.
Land: 🇮🇱 Israel

🇮🇱 Yeda Research and Development

Israelische Technologietransfergesellschaft des Weizmann-Instituts, die die dort entstandenen Forschungsergebnisse patentiert und deren kommerzielle Verwertung organisiert.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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