Verfahren zur Ermittlung Geometrisch Optischer Abbildungsfehler

EP1252646 Art B1 26. Oktober 2005

Anmelder: Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH, JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1252646
Aktenzeichen
EP00991544
Anmeldetag
20. Dezember 2000
Veröffentlichung
26. Oktober 2005
Erteilung
26. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/153
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Kanzlei
Pöhner Scharfenberger Würzburg, Deutschland

Patent- und Rechtsanwaltskanzlei (Marke MAINPAT) in Würzburg, betreut Patente, Gebrauchsmuster, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten, Schwerpunkte in Physik, Elektrotechnik, Mechanik, Bauwesen, Biologie und Chemie.

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