Verfahren zur Überwachung eines Herstellungsprozesses
Anmelder: Infineon Technologies AG, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Fraunhofer-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1252652
- Aktenzeichen
- EP00904853
- Anmeldetag
- 25. Januar 2000
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N21/00G01N21/25
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Infineon Technologies AG
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Fraunhofer-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
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Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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