Wellenlängenmeter für Gasentladungslaser

EP1252691 Art B1 17. November 2010

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1252691
Aktenzeichen: EP00984004
Anmeldetag: 6. Dezember 2000
Veröffentlichung: 17. November 2010
Erteilung: 17. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/13G01J3/26G01J9/02H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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