Lichtduchlässiges Polierkissen für eine Halbleiterschleife

EP1252973 Art B1 10. September 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1252973
Aktenzeichen
EP02009155
Anmeldetag
24. April 2002
Veröffentlichung
10. September 2008
Erteilung
10. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24D13/12B24D13/14B24D7/12B24D3/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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