Verwendung eines spektroskopischen Ellipsometers

EP1253418 Art B1 7. Februar 2007

Anmelder: HORIBA, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1253418
Aktenzeichen: EP02008579
Anmeldetag: 16. April 2002
Veröffentlichung: 7. Februar 2007
Erteilung: 7. Februar 2007
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/21G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HORIBA, LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Horiba

Horiba ist ein japanischer Hersteller wissenschaftlicher und analytischer Messinstrumente. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Softwarethemen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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