Verfahren und Vorrichtung zur Halterung eines Spiegels in einem Röntgenstrahlsystem
EP1253601
Art A2
30. Oktober 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1253601
- Aktenzeichen
- EP02252879
- Anmeldetag
- 24. April 2002
- Veröffentlichung
- 30. Oktober 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G21K1/06G02B7/182G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- NIKON CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Meddle, Alan L
München, Deutschland
97
Patente gesamt
25
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen