Ladungsträgerteilchenstrahl-Belichtungsgerät und dessen Anwendungverfahren zur Herstellung von Vorrichtungen
EP1253619
Art B1
14. Oktober 2009
Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA, Hitachi, Ltd., ADVANTEST CORPORATION, Hitachi Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1253619
- Aktenzeichen
- EP02252818
- Anmeldetag
- 22. April 2002
- Veröffentlichung
- 14. Oktober 2009
- Erteilung
- 14. Oktober 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/04H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- CANON KABUSHIKI KAISHA
Hitachi, Ltd.
ADVANTEST CORPORATION
Hitachi Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
10.659 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Hitachi
Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.
16.329 Patente in unserer Datenbank
🇯🇵
Advantest
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.
610 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Beresford, Keith Denis Lewis
London, Großbritannien
4.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
38
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
TBK
TBK · München
-
TBK-Patent
TBK-Patent · München