Waferhalterung, Waferhalterungsanordnung und Wärmebehandlungsofen

EP1253631 Art B1 16. Februar 2011

Anmelder: Nippon Steel Corporation, NIPPON STEEL CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1253631
Aktenzeichen: EP01974883
Anmeldetag: 16. Oktober 2001
Veröffentlichung: 16. Februar 2011
Erteilung: 16. Februar 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nippon Steel Corporation
NIPPON STEEL CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nippon Steel

Japanischer Stahlkonzern mit Sitz in Tokio, einer der größten Stahlhersteller der Welt. Aktiv in der Produktion von Stahl für Automobilbau, Bauwesen und Schiffbau sowie in Werkstoff- und Verfahrenstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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