Wafer-Haltevorrichtung

EP1253633 Art B1 17. November 2010

Anmelder: Kabushiki Kaisha TOPCON, KABUSHIKI KAISHA TOPCON 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1253633
Aktenzeichen
EP02008619
Anmeldetag
17. April 2002
Veröffentlichung
17. November 2010
Erteilung
17. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Kabushiki Kaisha TOPCON
KABUSHIKI KAISHA TOPCON
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Kabushiki Kaisha Topcon

Topcon ist ein japanischer Hersteller von Mess-, Vermessungs- und ophthalmologischen Geräten sowie Positionierungstechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Medizintechnik und Gesundheit, ergänzt durch Software und Optik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2017.

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