Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines Hochenergiebeschleunigers mit Niedriger Energie
EP1254591
Art A1
6. November 2002
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1254591
- Aktenzeichen
- EP01907132
- Anmeldetag
- 8. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 6. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05H5/06H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Beck, Simon Antony
London, Großbritannien
871
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
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Schwerpunkte