Substratbearbeitungsmethode und -Apparat
EP1255287
Art A1
6. November 2002
Anmelder: MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA, SPC Electronics Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1255287
- Aktenzeichen
- EP01936972
- Anmeldetag
- 12. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 6. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304H01L21/306B08B3/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
SPC Electronics Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Electric
Japanisches Unternehmen, das Elektro- und Elektroniktechnik entwickelt und herstellt, darunter Automatisierung, Energie-, Klima- und Fahrzeugtechnik.
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Kanzlei
Meissner Bolte Patentanwälte
Bremen, Deutschland
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Sajda, Wolf E., Dipl.-Phys
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