Beschichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements unter Verwendung des Beschichtungsverfahrens
EP1255289
Art B1
8. August 2007
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1255289
- Aktenzeichen
- EP02253086
- Anmeldetag
- 1. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 8. August 2007
- Erteilung
- 8. August 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/316H01L21/311H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
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Matthews, Derek Peter
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