Abtastgerät für eine zylindrische Aussenfläche
EP1256845
Art B1
18. August 2010
Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1256845
- Aktenzeichen
- EP02009398
- Anmeldetag
- 7. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 18. August 2010
- Erteilung
- 18. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Dainippon Screen Mfg
Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.
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Kilian, Helmut
München, Deutschland
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