Vertikale Waferhaltevorrichtung
EP1256975
Art B1
29. Juli 2009
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG, SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD., Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1256975
- Aktenzeichen
- EP02010097
- Anmeldetag
- 7. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 29. Juli 2009
- Erteilung
- 29. Juli 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD.
Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
370 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kühn, Hans-Christian
Hanau, Deutschland
510
Patente gesamt
24
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte