Schnelles Wellenlängenkorrekturverfahren für einen Laser

EP1258060 Art B1 6. August 2008

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1258060
Aktenzeichen: EP01906566
Anmeldetag: 16. Januar 2001
Veröffentlichung: 6. August 2008
Erteilung: 6. August 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/225H01S3/134H01S3/105

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Cymer, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von