Zuführvorrichtung für Prozessgas in einem CVD-system

EP1258541 Art A2 20. November 2002

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1258541
Aktenzeichen
EP02009849
Anmeldetag
2. Mai 2002
Veröffentlichung
20. November 2002
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/44C30B25/14B01J4/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
L'AIR LIQUIDE, Société Anonyme à Directoire et Conseil de Surveillance pour l'Etude et l'Exploitation des
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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