Heizelement für einen Cvd-Apparat

EP1258914 Art B1 22. November 2006

Anmelder: Japan as represented by President of Japan Advanced Institute of Science and Technology, ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1258914
Aktenzeichen
EP01963526
Anmeldetag
7. September 2001
Veröffentlichung
22. November 2006
Erteilung
22. November 2006
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/31C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Japan as represented by President of Japan Advanced Institute of Science and Technology
ANELVA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lyndon-Stanford, Edward W.B London, Großbritannien
29
Patente gesamt
19
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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