Verfahren zur Herstellung vergrabener Bereiche

EP1258920 Art B1 26. März 2008

Anmelder: ATMEL Germany GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1258920
Aktenzeichen
EP02010016
Anmeldetag
4. Mai 2002
Veröffentlichung
26. März 2008
Erteilung
26. März 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/74H01L21/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ATMEL Germany GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
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