Verfahren zur Herstellung von Bauelementen auf einem SOI-Wafer

EP1258924 Art A3 19. Dezember 2007

Anmelder: ATMEL Germany GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1258924
Aktenzeichen
EP02010017
Anmeldetag
4. Mai 2002
Veröffentlichung
19. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/12H01L21/84
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ATMEL Germany GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
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