Elektrische Verbindung zwischen Zwei Substratoberflächen und Verfahren zu deren Realisierung

EP1259983 Art A1 27. November 2002

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, PHS MEMS 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1259983
Aktenzeichen
EP01909909
Anmeldetag
27. Februar 2001
Veröffentlichung
27. November 2002
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
PHS MEMS
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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