Methode und Apparat für die Bearbeitung von Dünnen Metallschichten
EP1259985
Art A2
27. November 2002
Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York, THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1259985
- Aktenzeichen
- EP01979560
- Anmeldetag
- 9. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 27. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The Trustees of Columbia University in the City of New York
THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Columbia University
Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.
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Fachgebiete
Vertreten von
Lawrence, John
Birmingham, Großbritannien
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