Halbleitersubstrathalter mit bewegbarer Platte für das chemisch-mechanische Polierverfahren

EP1260315 Art B1 10. Dezember 2003

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1260315
Aktenzeichen
EP01112711
Anmeldetag
25. Mai 2001
Veröffentlichung
10. Dezember 2003
Erteilung
10. Dezember 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B41/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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