Verfahren zur Herstellung eines Films aus Verbundmaterial mit Gasbildendem Element
EP1260604
Art A1
27. November 2002
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1260604
- Aktenzeichen
- EP01901559
- Anmeldetag
- 29. Januar 2001
- Veröffentlichung
- 27. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/34G02B1/10G02B5/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
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