Ultraviolettlicht-Abschwächungsfilter
EP1260835
Art B1
19. Juli 2006
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1260835
- Aktenzeichen
- EP02011010
- Anmeldetag
- 17. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 19. Juli 2006
- Erteilung
- 19. Juli 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B5/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMT AG
CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Muschik, Thomas
Stuttgart, Deutschland
18
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Muschik, Thomas (DE)
NoneStuttgart