Halbleiterscheibenherstellungsmethode, Poliermaschine und Halbleiterscheibe
EP1261020
Art A1
27. November 2002
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1261020
- Aktenzeichen
- EP01976792
- Anmeldetag
- 22. Oktober 2001
- Veröffentlichung
- 27. November 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B37/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
1.022 Patente in unserer Datenbank