Wegwerf-Fluidtrenneinrichtung und Verteilersystem mit Leicht Austauschbarem Bestandteil

EP1261406 Art B1 10. Januar 2007

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1261406
Aktenzeichen
EP01913186
Anmeldetag
28. Februar 2001
Veröffentlichung
10. Januar 2007
Erteilung
10. Januar 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/02B01D35/153B01D27/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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