Quarzglasbauteil für Halbleiterherstellungsanlage und Verfahren zur Metalluntersuchung in einem Quarzglasbauteil
EP1261761
Art B1
17. Mai 2006
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1261761
- Aktenzeichen
- EP00985973
- Anmeldetag
- 28. Dezember 2000
- Veröffentlichung
- 17. Mai 2006
- Erteilung
- 17. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C30B35/00C03B20/00C30B31/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Vertreten von
Liesegang, Roland
München, Deutschland
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