Thermisches Kontrollsystem für Substrate
EP1261984
Art B1
14. Februar 2007
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1261984
- Aktenzeichen
- EP01913112
- Anmeldetag
- 27. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 14. Februar 2007
- Erteilung
- 14. Februar 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML US, Inc.
Silicon Valley Group, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
McGowan, Cathrine
London, Großbritannien
353
Patente gesamt
30
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Potter, Julian Mark
WP Thompson · London