Belichtungsmaske, Herstellungsmethode für eine Belichtungsmaske und Belichtungsmethode

EP1263028 Art A1 4. Dezember 2002

Anmelder: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., PD Service Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1263028
Aktenzeichen: EP01272333
Anmeldetag: 26. Dezember 2001
Veröffentlichung: 4. Dezember 2002
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F1/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
PD Service Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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