Schwebende Dreidimensionale Mikrointegrierte Struktur und Herstellungsverfahren

EP1263675 Art A1 11. Dezember 2002

Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH, ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1263675
Aktenzeichen
EP00960604
Anmeldetag
5. September 2000
Veröffentlichung
11. Dezember 2002
Rechtsraum
EP
IPC
B81B3/00B81C1/00G02B26/08H01L21/306H01L31/0216
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ROBERT BOSCH GMBH
ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Robert Bosch

Deutsches Technologie- und Industrieunternehmen mit Sitz in Gerlingen bei Stuttgart. Fertigt Kraftfahrzeugtechnik, Industrietechnik, Gebrauchsgüter und Haushaltsgeräte sowie Gebäudetechnik.

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🇨🇭 École Polytechnique Fédérale de Lausanne

Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.

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