Verfahren zur Abscheidung von Amorphen, Wasserstoffhaltigen Siliziumschichten

EP1264000 Art B1 25. Juni 2008

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1264000
Aktenzeichen: EP01936062
Anmeldetag: 8. März 2001
Veröffentlichung: 25. Juni 2008
Erteilung: 25. Juni 2008
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00C23C14/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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