Verfahren zur Temperaturreglung eines Substrats
EP1264003
Art A1
11. Dezember 2002
Anmelder: ASML Holding N.V., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1264003
- Aktenzeichen
- EP01911174
- Anmeldetag
- 26. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/46H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
Silicon Valley Group, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
McGowan, Cathrine
NoneLondon
-
Potter, Julian Mark
WP Thompson · London