Verfahren und Gerät für die Kontrolle eines Photoresist-Einbrennverfahrens

EP1264217 Art A1 11. Dezember 2002

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1264217
Aktenzeichen
EP01902092
Anmeldetag
16. Januar 2001
Veröffentlichung
11. Dezember 2002
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/40G03F7/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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