Verfahren und Vorrichtung zur Dämpfung der Harmonischen Oberschwingungen in einer Plasma-Behandlungsvorrichtung
EP1264328
Art A1
11. Dezember 2002
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1264328
- Aktenzeichen
- EP01907146
- Anmeldetag
- 9. Februar 2001
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Liesegang, Roland
München, Deutschland
387
Patente gesamt
29
Fachgebiete
9
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
- (deleted)
-
Vidon, Patrice
NoneRennes
-
Larcher, Dominique
NoneRennes