Rezeptenkaskadierung in einem Halbleiterwaferbehandlungssystem
EP1264332
Art A1
11. Dezember 2002
Anmelder: ASML Holding N.V., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1264332
- Aktenzeichen
- EP00942927
- Anmeldetag
- 16. Juni 2000
- Veröffentlichung
- 11. Dezember 2002
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00G05B19/418
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
Silicon Valley Group, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
5.380 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Van den Hooven, Jan
Veldhoven, Niederlande
677
Patente gesamt
18
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
McGowan, Cathrine
NoneLondon
-
Potter, Julian Mark
WP Thompson · London