Verfahren zur Verhinderung von Brückenbildung zwischen Polykristallinen Mikrodimensionierten Strukturen
EP1264341
Art B1
17. November 2010
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1264341
- Aktenzeichen
- EP01925433
- Anmeldetag
- 13. März 2001
- Veröffentlichung
- 17. November 2010
- Erteilung
- 17. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L23/528H01L23/532
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Duscher, Reinhard
Ehningen, Deutschland
53
Patente gesamt
6
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Teufel, Fritz
NoneEhningen
-
Teufel, Fritz, Dipl.-Phys
NoneStuttgart