Verfahren zur Verhinderung von Brückenbildung zwischen Polykristallinen Mikrodimensionierten Strukturen

EP1264341 Art B1 17. November 2010

Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1264341
Aktenzeichen
EP01925433
Anmeldetag
13. März 2001
Veröffentlichung
17. November 2010
Erteilung
17. November 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L23/528H01L23/532
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
International Business Machines Corporation
Land
🇺🇸 USA

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