Radiofrequenzenergie-Tastkopf mit thermisch leitender Hülse

EP1265267 Art B1 1. September 2010

Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1265267
Aktenzeichen
EP02011999
Anmeldetag
31. Mai 2002
Veröffentlichung
1. September 2010
Erteilung
1. September 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32G01R19/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc.
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Vertreten von
Neumann, Ernst Dieter Köln, Deutschland
161
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Straßen-, Wasser- & Tiefbau Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Verpackungs- & Fördertechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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