Radiofrequenzenergie-Tastkopf mit thermisch leitender Hülse
EP1265267
Art B1
1. September 2010
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Eni Technology, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1265267
- Aktenzeichen
- EP02011999
- Anmeldetag
- 31. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 1. September 2010
- Erteilung
- 1. September 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32G01R19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Eni Technology, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Neumann, Ernst Dieter
Köln, Deutschland
161
Patente gesamt
23
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Neumann, Ernst Dieter, Dipl.-Ing
NoneSiegburg