Verfahren zur Ausbildung eines Dielektrischen Films

EP1265276 Art B1 22. Juni 2011

Anmelder: Ohmi, Tadahiro 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1265276
Aktenzeichen
EP01912316
Anmeldetag
13. März 2001
Veröffentlichung
22. Juni 2011
Erteilung
22. Juni 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316H01L21/318H01L29/78H01L29/788H01L29/792H01L21/8247
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ohmi, Tadahiro
Land
🇯🇵 Japan

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