Verfahren zur Herstellung einer Siliziumdioxidschicht, Siliziumdioxidschicht, Isolierschicht, Halbleiteranordnung

EP1267395 Art A3 8. Juni 2005

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1267395
Aktenzeichen
EP02012824
Anmeldetag
10. Juni 2002
Veröffentlichung
8. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/312H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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