Zusammengesetzter integrierter Schaltkreis und sein Herstellungsverfahren

EP1267408 Art A3 4. März 2009

Anmelder: National Institute for Materials Science, TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd, Tokyo Institute of Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1267408
Aktenzeichen
EP02254099
Anmeldetag
12. Juni 2002
Veröffentlichung
4. März 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L27/06H01L21/822H01L25/18C30B23/02C30B25/02H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute for Materials Science
TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd
Tokyo Institute of Technology
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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🇯🇵 Tokyo Institute of Technology

Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.

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