Lineares Polierband mit Fixiertem Schleifmittel und Vorrichtung mit einem Solchen Band

EP1268130 Art A1 2. Januar 2003

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1268130
Aktenzeichen
EP01922765
Anmeldetag
28. März 2001
Veröffentlichung
2. Januar 2003
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B21/04B24D11/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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