Vorrichtung zur Herstellung eines Trägermaterials mit Fixiertem Schleifmittel und zum Polieren von einer Halbleiterscheibe in Nur einem Prozessschritt
EP1268132
Art A1
2. Januar 2003
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1268132
- Aktenzeichen
- EP01922770
- Anmeldetag
- 28. März 2001
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2003
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B21/18B24D3/28B24D11/00B24D18/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bucks, Teresa Anne
London, Großbritannien
415
Patente gesamt
34
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte