Verfahren zur Regelung von Reaktiven Sputterprozessen

EP1268872 Art B2 20. Januar 2010

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1268872
Aktenzeichen: EP01938052
Anmeldetag: 27. März 2001
Veröffentlichung: 20. Januar 2010
Erteilung: 20. Januar 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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