Vorrichtung und Verfahren zum Regeln der Ungebungsverhältnisse
EP1269092
Art B1
3. Mai 2006
Anmelder: ASML Holding N.V., ASML US, Inc., Silicon Valley Group, Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1269092
- Aktenzeichen
- EP00914576
- Anmeldetag
- 11. Februar 2000
- Veröffentlichung
- 3. Mai 2006
- Erteilung
- 3. Mai 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F25B29/00F24F3/153F24F11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Holding N.V.
ASML US, Inc.
Silicon Valley Group, Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
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Vertreten von
Allman, Peter John
Manchester, Großbritannien
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