Lösungsmittelfreies, Resistloses Direktes Strukturieren von Dielektrika

EP1269259 Art B1 8. August 2012

Anmelder: Semiconductor Research Corporation, CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC., MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1269259
Aktenzeichen
EP01904847
Anmeldetag
11. Januar 2001
Veröffentlichung
8. August 2012
Erteilung
8. August 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/16G03F7/32G03F7/36G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Semiconductor Research Corporation
CORNELL RESEARCH FOUNDATION, INC.
MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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