Verfahren zum Abscheiden eines zur Mikrobearbeitung Geeigneten Polykristallinen Sige
EP1269526
Art B1
19. August 2009
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1269526
- Aktenzeichen
- EP01923913
- Anmeldetag
- 5. April 2001
- Veröffentlichung
- 19. August 2009
- Erteilung
- 19. August 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum (IMEC) - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Van Malderen, Joëlle
Liège, Belgien
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