Methode, einen Dielektrischen Film Herzustellen

EP1269528 Art B1 20. Juni 2012

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1269528
Aktenzeichen
EP01915684
Anmeldetag
22. März 2001
Veröffentlichung
20. Juni 2012
Erteilung
20. Juni 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
TOKYO ELECTRON LIMITED
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Liesegang, Roland München, Deutschland
327
Patente gesamt
29
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Nachrichtentechnik & Telekommunikation Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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