Antihaftungsverfahren und Vorrichtung zum Trocknen von Wafern, die Zentrifugalkraft verwendet

EP1270505 Art A3 11. Februar 2004

Anmelder: Samsung Electronics Co., Ltd., SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1270505
Aktenzeichen: EP02014541
Anmeldetag: 1. Juli 2002
Veröffentlichung: 11. Februar 2004
Rechtsraum: EP
IPC: B81B3/00B81B7/00H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Samsung Electronics Co., Ltd.
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Samsung Electronics

Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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